一、電容式位移傳感器概述：

電容式位移傳感器利用將待測(cè)的物理位移（距離變化）轉(zhuǎn)換為電容器電容量的變化，再通過測(cè)量電路將電容變化轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)（如電壓、電流或頻率）輸出，從而計(jì)算出位移量。兩個(gè)平板電極分別由傳感器和相對(duì)的測(cè)量對(duì)象來表示。如果一個(gè)恒定的交變電流流過電容傳感器，則傳感器上交變電壓的振幅變化與電容極板之間的距離成正比。利用探頭與導(dǎo)電目標(biāo)物之間形成的電容器，將兩者之間的物理距離變化，轉(zhuǎn)換成電容量的變化，再通過精密的電子電路檢測(cè)并線性化這種變化，zui終輸出一個(gè)與距離成比例的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。

交流電經(jīng)過解調(diào)并作為模擬量信號(hào)輸出。傳感器能夠?qū)λ袑?dǎo)電材料進(jìn)行測(cè)量，如果選擇適當(dāng)?shù)目刂破魃踔量梢栽诮^緣材料上進(jìn)行使用。

電容位移傳感器是一種高精度、高分辨率、非接觸式的測(cè)量傳感器，通過檢測(cè)電容變化來測(cè)量微小位移，主要用于位移、位置和厚度測(cè)量。《對(duì)測(cè)量環(huán)境要求較高（如防塵、防油污、防電磁干擾等）》

二、電容式位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

●精密制造與質(zhì)量檢測(cè)：

用于檢測(cè)晶圓平整度、光刻機(jī)對(duì)焦、鍵合機(jī)壓力控制、測(cè)量機(jī)床刀具磨損、檢測(cè)零件的厚度、平整度、圓度等幾何參數(shù)等；

●微電子與MEMS技術(shù)：

測(cè)量芯片引線鍵合高度、封裝間隙、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）微型結(jié)構(gòu)的形變、振動(dòng)或位移，如加速度計(jì)、微鏡的校準(zhǔn)；

●科學(xué)研究與實(shí)驗(yàn)室：

研究材料的熱膨脹系數(shù)、形變行為或納米級(jí)表面形貌（如原子力顯微鏡中的位置反饋）、調(diào)整光學(xué)元件（透鏡、反射鏡）的納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)與聚焦、精密儀器校準(zhǔn)；

●航天航空：

發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片間隙、軸系振動(dòng)與形變、飛機(jī)機(jī)翼、航天器部件的微小形變或疲勞的結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)；

●汽車工業(yè)：

發(fā)動(dòng)機(jī)的活塞運(yùn)動(dòng)、氣門間隙、曲軸振動(dòng)監(jiān)測(cè)、檢測(cè)新能源電池充放電過程中的極片膨脹；

●醫(yī)療與生物工程：

用于精密手術(shù)機(jī)器人、影像設(shè)備（如CT/MRI）的定位；

●工業(yè)自動(dòng)化與機(jī)器人：

末端執(zhí)行器的精準(zhǔn)定位、力控反饋（如裝配、打磨）、柔性生產(chǎn)線的在線監(jiān)測(cè)產(chǎn)品厚度或位置，進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整等；

●新能源與重型工業(yè)：

實(shí)時(shí)健康監(jiān)測(cè)葉片形變與振動(dòng)；

★非接觸測(cè)量：避免對(duì)被測(cè)物體造成損傷或干擾

★對(duì)導(dǎo)電和非導(dǎo)電物體的距離與厚度測(cè)量

★高精度和穩(wěn)定性，分辨率可達(dá)納米級(jí)

★高頻響應(yīng)：適合動(dòng)態(tài)振動(dòng)測(cè)量

★適用于工業(yè)環(huán)境、電磁場(chǎng)和真空環(huán)境內(nèi)
★對(duì)材質(zhì)敏感：需考慮被測(cè)物導(dǎo)電性、環(huán)境溫濕度及電場(chǎng)干擾

四、技術(shù)參數(shù)：

供電電壓：DC12-24V

線性度可達(dá)：0.1μm

重復(fù)性高達(dá)：0.0003% FS

長期穩(wěn)定性：±0.002 % FS

溫度穩(wěn)定性：5ppm

測(cè)量范圍從 0.05mm至10mm（可擴(kuò)展）

信號(hào)輸出：RS485、0-5V、0-10V、4-20mA

分辨率zui高可達(dá)：0.0375nm （溫度范圍﹣270 ℃至+200 ℃）